Na místě původní tvrze byl v roce 1370 vystavěn vodní hrad, který byl v 16. st. přestavěn do podoby renesančního zámku. V roce 1527 koupil zdejší panství Jindřich z Bünau. Roku 1628 museli protestantští rytíři z Bünau odejít, a tak prodali celé panství Kryštofu Šimonovi z Thunu. Thunům pak náleželo až do roku 1945. 19. dubna 1945 byl zámek značně poškozen leteckým bombardováním a následně konfiskován. V roce 2000 byl zámek převeden do majetku města Jílové, které začalo téměř ihned s nákladnou rekonstrukcí objektu zámku i přilehlého parku a dalších budov, které k areálu Jílovského zámku patří. V současné době je zrekonstruováno přízemí a první patro zámku, jsou zpřístupněny renesanční sklepy. Zámek slouží jako kulturní a společenské středisko, přilehlý park je volně přístupný veřejnosti.